半導體行業中超純水系統的制造工藝
為滿足用戶需求，達到達標水質，盡量減少各級污染，在工藝設計中，以符合國家自來水標準的水為源水，安裝介質過濾器、活性炭過濾器、精密過濾器、RO反滲透主系統、EDI超純水系統等預處理系統。
1. 介質過濾器的主要作用是去除源水中的懸浮物和機械雜質。設備采用優質不銹鋼材料制造。機體內裝有配水帽、精制石英砂等，以及其他填料。合理的石英砂充填比例和良好的配水系統使系統水質更加穩定。此外，設備還具有氣沖洗功能，可最大限度地去除介質和床層上的污垢，提高出水水質，延長工作周期。
2. 活性炭過濾器具有除臭、脫色、除油、吸附有機雜質等功能，能最大限度地去除水中的游離余氯，保證反滲透膜的進水水質。設備采用優質不銹鋼材料制造。
3.RO主機系統引入國際先進的反滲透技術，利用壓差原理有效去除水中鹽分，脫鹽率達99%左右。
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